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CKD小型流量传感器FSM3系列
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产品: 浏览次数:479CKD小型流量传感器FSM3系列 
品牌: CKD
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最后更新: 2023-07-20 11:07
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详细信息
   1个FSM3能够对应空气,氮气,氩气,二氧化碳和混合气的5种气体。
  
  行业
  
  半导体制造工序(后工序)
  
  氮气清洗关联元件
  
  【树脂阀体型】
  
  1个FSM3能够对应空气,氮气,氩气,二氧化碳和混合气的5种气体。
  
  接头快插式弯管、快插式直管、螺纹旋入式弯管、螺纹旋入式直管的4种可选择。
  
  2通阀可直接连接,能节省空间。可调整流量的针阀于针阀 体型也更能节省空间。
  
  【不锈钢阀体型】
  
  1个FSM3能够对应空气,氮气,氩气,二氧化碳和混合气的5种气体。
  
  氧气专用的禁油规格也有。
  
  JXR接头型,2种双卡套接头型的2种街头和螺纹旋入式的共3种可选择。
  
  【高精度?高响应】
  
  压力损失因再设计流路而比旧型减少 大50%。
  
  流向可选单向(正向和逆向的2种)和双向的3种类。
  
  响应时间:50msec
  
  【IO-link可实现工厂自动化】
  
  IO-link对应。
  
  传送参数和其他活动数据,可预测保全。
  
  适用于检查漏气和空气消耗量。
  
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